SEM（走査型電子顕微鏡）の大多数は、サンプル中に存在する化学元素の定量分析を可能にするEDS（エネルギー分散型X線分析、別名EDX）を備えています（または備えることができます）。 最近開発されたMountainsSpectral®ソフトウェアにより、これらの特性を表面トポグラフィと組み合わせて比較し、材料挙動をより良く理解することが可能になりました。Digital Surfのスペクトルアプリケーションの製品マネージャである Renata Lewandowska が、新しいツールとそのアプ リケーションについて説明しています。
3D再構成
数年前、Digital Surfのチームは、2回連続スキャンまたは4分割SEM画像から3Dモデルを迅速に構築するための新しい革新的方法を発表しました。
弊社のウェビナーで方法の全容をご覧ください
bit.ly/3D-reconstruction
上図。 コバルタイトサンプル上の化学組成のオーバーレイを伴う表面トポグラフィの3Dモデル。
ご提供：Emmanuel Guilmeau, CRISMAT (Caen, France), Jean-Claude Ménard, JEOL France
スペクトルデータをオーバーレイするための共局在解析ツール
非常に多くの場合、SEMのユーザーは、研究中のサンプルのECSマップも生成することができます。 しかしながら、これらの異なる性質のデータセットを集め、それらを集合的に研究するために異なるスケールで集めることは、非常に困難を呈します。
MountainsSpectral®は、現在、このタスクを実行するための合理的な方法を単一のソフトウェアパッケージで提供しています。
背景データとオーバーレイの接続
プロセスの最初のステップは、希望する背景を選択し、共局在試験を作成することです。 これにはシンプルに2D画像を使用することができますが、ここで提示した事例（SEMとEDSで画像化したコバルタイトサンプル）では、3Dトポグラフィを使用しました。
次のステップでは、オーバーレイ画像の追加を選択できます。 本事例では、3つのEDS化学マップをオーバーレイ画像として選択しました。
透過度の設定を操作して、背景上のオーバーレイの位置を確認できます（特に、2つのデータセットが同じスケールでない場合に便利です）。
上図。 共局在化を実行するために使用されるすべてのデータ（背景およびオーバーレイ）のグリッドビュー。
オーバーレイをより正確に位置決めするために、いくつかの方法が利用可能です。 この例では、Use points（ポイントの使用）メソッドを使用して、2つのデータセット上の類似した構造を識別し、互いに共局在する点のペアを作成しました。
最後に、MountainsSpectral®のComposite rendering(コンポジットレンダリング） ツールを使用して、使用するEDSマップを選択し、これらからカラーミックスを行いました。
データの3D表示
3Dでのデータの可視化と操作は、分析されたデータをより良く解釈するのに役立ちます。 MountainsSpectral®では、3Dビューを生成するためのさまざまな方法が利用可能です。
共局在試験のGenerate 3D view（3Dビューの生成）ツールは、データを3Dで表示し、ほとんど労力をかけずに表示できる1つの方法です。 この技術は、再構成されたSEM画像からのトポグラフィ値を使用し、共局在データからのカラー画像を上に貼り付けます。
別の方法として、Generate whole content（全コンテンツの生成）機能を使用すると、マルチチャネル画像としてすべての共局在データセット（背景画像とオーバーレイ画像）を取得することができます。 これは、このデータを処理する他の可能性（マルチチャネル画像上のオペレータと研究へのアクセス）を開くさらなる利点があります。
この方法でまた、共局在化が実行されると、組成の調節もさらに柔軟に行うことができます。
どちらの方法を使用する場合でも、3Dビューが作成されると、 高さ表示を増幅し、レンダリングと光沢を変更し、サンプルに最適な照明条件を定義するなど、多数の拡張オプションを利用できるメリットがあります。
最後に、Animated view（アニメーションビュー）では、いくつかの事前定義されたパスをたどりながら、データ上のフライトをシミュレーションできます。 これらはいずれも優れたプレゼンテーションを作成するための優れたツールです。
相関処理が容易に
見た目の美しい画像を作成するだけでなく、本記事で説明するワークフローによって、異なる種類の機器データ（SEMおよびEDS画像）間の相関を作成することができます。
3Dデータ上でさまざまな化学マップ（カルシウム、炭素など）を簡単に非表示・表示できる機能により 異なるコンポーネント間の関係を示し、理解を深めることができます。